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FreeDATA

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Paquete de análisis de datos de microlitografía capaz de ajustar conjuntos de datos de tipo Bossung, también conocidos como matrices de exposición de enfoque. Palabras clave: Litografía, Fotolitografía, Fotoresista, Ventana de Proceso, Dimensión Crítica, CD, Bossung, FEM

historial de versiones

  • Versión N/A publicado en 2011-08-11
    Varias correcciones y actualizaciones
  • Versión N/A publicado en 2011-08-11

Detalles del programa

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