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FreeDATA

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acerca de FreeDATA

Paquete de análisis de datos de microlitografía capaz de ajustar conjuntos de datos de tipo Bossung, también conocidos como matrices de exposición de enfoque. Palabras clave: Litografía, Fotolitografía, Fotoresista, Ventana de Proceso, Dimensión Crítica, CD, Bossung, FEM

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